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1.建模任務(wù) W0`Gc
{ Owv+1+B 這個(gè)案例將演示設(shè)計(jì)與分析一個(gè)折射率調(diào)制的擴(kuò)散器圖層以生成Top Hat圖案。 A7XnHPIw 設(shè)計(jì)包括兩個(gè)步驟: <eN R8(P - 設(shè)計(jì)相位函數(shù)來(lái)生成一個(gè)角譜Top Hat分布。 _!V%fw - 基于相位調(diào)制來(lái)計(jì)算對(duì)應(yīng)的折射率調(diào)制。 !^fa.I'mM 如果想要更詳細(xì)的解釋設(shè)計(jì)和分析步驟,請(qǐng)參見(jiàn)教程Tut565。 S[:xqzyDg ZXb0Y2AVx T~8
.9g 照明光束參數(shù) JcO08n HRa@ ]rBM5~ 波長(zhǎng):632.8nm &
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