摘要：這個案例分析了由衍射擴散器元件實現(xiàn)的單色準分子激光光束的均勻化，最終生成一個圓形高帽。 xT/9kM&}L  
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1.建模任務 S~} +ypV  
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2.光源參數(shù) #-A5Z;TD.  
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• LED模型：Gaussian Type Planar Source（高斯型平面光源） ve
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• 光源平面直徑：100μm×100μm WE7>?H*Ro  
• 空間相干長度：3μm×3μm tPA"lBS !  
• 相應的發(fā)散角（HWHM）：～0.89×0.89° VJGwd`qo*A  
• 波長：351nm $/os{tzjd  
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3. 衍射擴散器透過率函數(shù) "^!j5fZ  
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一個衍射勻光元件,可以使用一個具有如下技術參數(shù)的衍射擴散器透過率函數(shù)來模擬： PaA6Z":  
• Phase-Only元件 ,Qga|n8C  
• 采樣距離：5μm ^1()W,B~w  
• 大�。�640μm×640μm /^NJ)9IB  
• 相位級：8 i^~sn `o  
• 生成的目標模式：圓形高帽 eO~eu]r
 
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4. 光源的輻射特性 JHHb