測(cè)量系統(tǒng)(MSY.0002 v1.1) kNobl 應(yīng)用示例簡(jiǎn)述 @NNq z
1. 系統(tǒng)說(shuō)明 'a\%L:` 光源 \cUC9/
b — 氙氣燈(部分相干白光) )|DM~%$QM 組件 K otrX — 分束器和合束器，消色差準(zhǔn)直透鏡系統(tǒng)，平面反射鏡，待測(cè)樣品 mj KS{ 探測(cè)器 3%%o?8E S — 強(qiáng)度分布表現(xiàn)出不同的干涉效應(yīng) Y]B)'[=h 建模/設(shè)計(jì) 7Z-O_h3;)@ — 光線(xiàn)追跡：初始系統(tǒng)概覽 aPm`^
q — 幾何場(chǎng)追跡Plus(GFT+)： x6e}( &p* 部分相干白光會(huì)減少干涉條紋的對(duì)比度 {;:/-0s 掃描樣品的高度輪廓時(shí)光強(qiáng)會(huì)發(fā)生變化 1ke g9] &
