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該案例介紹了一個(gè)正弦光柵的仿真,該光柵表面具有隨機(jī)變化的粗糙度結(jié)構(gòu)。此外,分析了對(duì)衍射級(jí)次的影響,特別是衍射效率。 ZJ[p7XP $]?M[sL\N7 1. 建模任務(wù) 9'KOc5@l^ En0hjXa L_!}R 一個(gè)正弦光柵不同衍射級(jí)次的嚴(yán)格分析和優(yōu)化。 n.o_._mu2 對(duì)于該仿真,采用傅里葉模態(tài)法。 ;:bnLSPo tcI Z
2H% 2. 建模任務(wù):正弦光柵 aDE}'d1qo <u x-z方向(截面視圖) :;Npk9P(N QR$m i1Vv\ ,ZnL38GW 光柵參數(shù): SWNT}{x] 周期:0.908um ZZ>(o
d!B 高度:1.15um <,9rXjeRl (這些參數(shù)提供了一個(gè)具有均勻分布傳輸效率0級(jí)和±1級(jí)衍射級(jí)次,詳見(jiàn)案例341) qf%p#+:B3 5L\Im^ 3. 建模任務(wù) U{HBmSR 1\5po^Oioy Nm3CeU w}x&wWM YH-W{]. VirtualLab光柵工具箱提供的光柵級(jí)次分析器,可對(duì)光柵衍射效率進(jìn)行嚴(yán)格的計(jì)算。 ^YEMR C qi8~bQ{rH 利用該分析器,也可以分別計(jì)算出現(xiàn)的每個(gè)衍射級(jí)次的衍射效率。 ;]2d%Qt Gk|T1% Qr~yHFc1y |(9l_e| 4. 光滑結(jié)構(gòu)的分析 SqoO"(1x "}uV=y ~e+pa|lO w X.]O!^X~ 計(jì)算衍射效率后,結(jié)果可在級(jí)次采集圖中顯示。 @EH@_EwYV 對(duì)于光滑結(jié)構(gòu),參數(shù)平穩(wěn),0級(jí)和±1衍射級(jí)次的傳輸效率大約為32%
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> >< Qp%yT 5. 增加一個(gè)粗糙表面 *,wW-8 '8|joj>G= CW~c<," VirtualLab光柵工具箱可將兩個(gè)界面進(jìn)行組合(如添加)。 oCB#i~|>a 因此任意光柵形狀(如正弦光柵)可以與粗糙表面組合,形成粗糙光柵面型。 .
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