摘要 jW]Fx:mQi 0mI4hy 建模結(jié)果與測(cè)量數(shù)據(jù)的比較對(duì)于任何
光學(xué)元件的設(shè)計(jì)過程都非常重要。因此，有必要將測(cè)量到的高度剖面（例如微
結(jié)構(gòu)的高度剖面）導(dǎo)入建模
軟件，以評(píng)估真實(shí)元件的性能。因此，在本文檔中，我們將展示如何使用位圖文件導(dǎo)入高度數(shù)據(jù)。
vPx#TXY=b} z=DK(b;$z 簡(jiǎn)介 { 0Ej *% 
e)]DFP[ n 步驟 1
0Y/k /)Ul] - 使用Import功能將位圖圖像文件作為Data Array導(dǎo)入。
0<]]q [pr 步驟 2
?,FL"ye - 設(shè)置數(shù)據(jù)
陣列的坐標(biāo)、插值和外推法。
x!A5j
$k0 步驟 3
eLk:">kj - 設(shè)置數(shù)據(jù)陣列的物理屬性。由于默認(rèn)的長(zhǎng)度單位是米，因此一定要指定一個(gè)合適的系數(shù)來表示微結(jié)構(gòu)的高度。
|=EwZ mj-c 步驟 4
u 1/q8'RW - 檢查導(dǎo)入數(shù)據(jù)陣列的高度值，并通過Manipulation菜單進(jìn)行調(diào)整（例如，應(yīng)用常數(shù)乘法）。
".
wG~H 步驟 5
