摘要 $R<Me
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"#mBcQ;QLV cj11S>D 掠入射反射
光學(xué)元件在X射線光路中廣泛使用,特別是Kirkpatrick-Baez(KB)橢圓
反射鏡系統(tǒng)。(A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319)聚焦是通過(guò)使用兩個(gè)物理分離的橢圓反射鏡聚焦二維
光束來(lái)實(shí)現(xiàn)的。進(jìn)入系統(tǒng)的X射線可以通過(guò)系統(tǒng)聚焦到
納米尺度大小的
光斑。該系統(tǒng)在VirtualLab Fusion中進(jìn)行了建模和
仿真,并計(jì)算了焦點(diǎn)位置的電場(chǎng)。
MX>[^}n 6TP7b| 建模任務(wù) @aJ!PV'ms 系統(tǒng)
參數(shù)來(lái)源于A. Verhoeven, et al., Journal of Synchrotron Radiation 27.5 (2020): 1307-1319.
VDTcR RN=` -*E1 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(1) 12Y P%K4[c W~ w+1Gs
; fdONP>K[E 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(2) (8_\^jJ "
RxP^l vn/.}GkpU 分析設(shè)計(jì)橢圓反射鏡(3) boG_f@dv( NnVnUgx f6$b
s+oP 焦平面上的能量密度和電場(chǎng) <w3!!+oK" \"hJCP?, D7_*k%;@ 軟件界面