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摘要 {U?UM Jybx'vZj Y <;A989D 線柵偏振器,可以使透射光產生線性偏振狀態(tài),是眾多應用中常見的一種光學元件。由于它們的結構在亞波長范圍內,因此必須對光的傳播進行嚴格的處理。VirtualLab的偏振分析器及其內置的RCWA能夠詳細分析和優(yōu)化,不僅是偏振器,還有抗反射結構和其他類型的光柵。它提供了與偏振有關的反射和/或透射衍射階數(shù)的信息,同時還可以分析效率與波長和/或入射角的關系。 $ftcYBZa gZQ,br* 任務描述 _&s37A&\ b=<xzvy 本文件的主題是使用偏振分析器研究光柵的衍射階數(shù)的偏振狀態(tài)。 '(M8D5?N- cl s-x@
Kd 光柵式光學裝置中的偏振分析器 L7i^?40 g:bw;6^u H6Q1r[(B 編輯偏振分析器 _bp9UJ {J-kcD!bz` N-
E)b -該分析器計算了所定義結構的每個衍射階數(shù)的兩個正交偏振狀態(tài)的效率之和(無論是透射還是反射)。 i}mvKV?!|1 -為此,在相應系統(tǒng)的光柵組件中配置的光柵被使用。 TqURYnNd -效率之和可以從所有(傳播)階數(shù)中計算,也可以從用戶定義的階數(shù)范圍中計算。 xB=~3 i6F`KF'i& 編輯偏振分析器 M5DW!^ -'
7I|r 5N=QS1<$5 -入射光束的偏振狀態(tài)可以根據(jù)以下坐標系來定義。
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