上次說錯(cuò)了,標(biāo)準(zhǔn)zernike系數(shù)可以達(dá)到231項(xiàng),而fringe zernike 只有37項(xiàng),是標(biāo)準(zhǔn)zernike的一個(gè)子集。而且兩種zernike多項(xiàng)式的表達(dá)式是不同的。具體使用哪個(gè),要看你在求zernike系數(shù)時(shí)是用哪個(gè)式子來求的。而phase(相位)和sag(矢高)這兩個(gè)對應(yīng)不同的情況。后者適用于輪廓儀求出的軸向的矢高(在ansys軟件給出的節(jié)點(diǎn)位移求得的zernike系數(shù)擬合也是選用此項(xiàng)),而前者則用于由干涉儀檢測所得的zernike系數(shù)的擬合。 fAmz4
$SE^S
在zemax中,在extra data editor一欄中有import一欄,可以直接讀取后綴為.dat格式的文件中的zernike系數(shù)。文件格式如下: j.kG};f
第一行:對應(yīng)于擬合最大項(xiàng)數(shù) "vGW2~*)
第二行:歸一化半徑 X7wKy(g
第三行:zernike系數(shù)第一項(xiàng) d[35d J7F
以下類推 CP{cAzHO
3,=6@U
在codev軟件中,zernike系數(shù)的輸入可以運(yùn)用int命令(這個(gè)我沒有試過)。另一中方面是將上面所提文件中的系數(shù)全選,復(fù)制。在codev軟件的面型屬性中選擇zernike面型后,單擊選中(而不是雙擊輸入)擬合最大項(xiàng)數(shù)這一個(gè)單元格,再粘帖即可。 ,(4K4pN
\4#W xZ
這兩種方法,都避免了在光學(xué)軟件中一個(gè)個(gè)輸入系數(shù),勞動(dòng)量大又容易出錯(cuò)。