畢樹生 宗光華 摘自：中國機(jī)械工程
(ix. &oMWs]0 微機(jī)械電氣系統(tǒng)(Micro-Electro-Mechanical Systems，MEMS)這一前沿技術(shù)主要涵蓋以下研究專題：①集成化微型儀器與傳感器；②微加工與測試技術(shù)；③微操作系統(tǒng)。
E(j# R" 'prHXzi(h 微操作系統(tǒng)作為MEMS研究領(lǐng)域的一個(gè)重要分支受到各發(fā)達(dá)國家的高度重視，紛紛投入大量資金進(jìn)行微操作機(jī)器人系統(tǒng)的研究，現(xiàn)已研制出多種各具特色的微操作機(jī)器人實(shí)驗(yàn)樣機(jī)系統(tǒng)［1］。
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