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10樓
發(fā)表于: 2021-02-08
1. 打底層最好用TiO2
4-~S"T8<u
2. 機器不要加溫,把能量放到IBS這邊;
H.*aVb$
3. IBS的能量要有一個梯度
m-MfFEZ
4. 整個鍍膜后的溫度要用測溫紙測一下,以此來判斷你IBS的energy是否合理
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11樓
發(fā)表于: 2021-02-11
TiO2和SiO2薄膜應力的產生機理及實驗探索.zip
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Ktn:6=,
'0 J*9
膜裂一般是由應力產生的,一般來講,張力會造成膜裂。
NM0s*s42
而在常溫下,SiO2表現為張力,TiO2表現為壓力。
ANq3r(
所以按原理來講,第一層鍍TiO2對膜裂的改善會比較好。
/SD(g@G,
-DL"Yw}
而且從附件論文的數據來看,開IAD比不開要好。