光學(xué)技術(shù),是研究從微波、紅外線、可見光、紫外線直到 X射線的寬廣波段范圍內(nèi)的,關(guān)于電磁輻射的發(fā)生、傳播、接收和顯示,以及跟物質(zhì)相互作用的科學(xué)技術(shù)。 ]dI^
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電子制程中的光學(xué)技術(shù),主要是指運(yùn)用光學(xué)的原理,顯示出制造工藝上的缺陷,從而改善制程工藝,提高生產(chǎn)水平,提高產(chǎn)品質(zhì)量。 uLWu. Vx
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