LED外延生長的基本原理是:在一塊加熱至適當溫度的襯底基片(主要有藍寶石和SiC,Si)上,氣態(tài)物質(zhì)In,Ga,Al,P有控制的輸送到襯底表面,生長出特定單晶
薄膜。目前LED外延片生長技術主要采用有機金屬化學氣相沉積方法。
8bP4 ?2$0aq 外延片的生產(chǎn)制作過程是非常復雜,展完外延片,接下來就在每張外延片隨意抽取九點做測試,符合要求的就是良品,其它為不良品(電壓偏差很大,波長偏短或偏長等)。良品的外延片就要開始做電極(P極,N極),接下來就用
激光切割外延片,然后百分百分撿,根據(jù)不同的電壓,波長,亮度進行全自動化分檢,也就是形成LED晶片(方片)。然后還要進行目測,把有一點缺陷或者電極有磨損的,分撿出來,這些就是后面的散晶。此時在藍膜上有不符合正常出貨要求的晶片,也就自然成了邊片或毛片等。不良品的外延片(主要是有一些參數(shù)不符合要求),就不用來做方片,就直接做電極(P極,N極),也不做分檢了,也就是目前市場上的LED大圓片(這里面也有好東西,如方片等)。
=as\Tp#d SdOE^_@: 半導體制造商主要用拋光Si片(PW)和外延Si片作為IC的原材料。20世紀80年代早期開始使用外延片,它具有標準PW所不具有的某些電學特性并消除了許多在
晶體生長和其后的晶片加工中所引入的表面/近表面缺陷。
Imm|5-qJ g{%2*{;i 歷史上,外延片是由Si片制造商生產(chǎn)并自用,在IC中用量不大,它需要在單晶Si片表面上沉積一薄的單晶Si層。一般外延層的厚度為2~20μm,而襯底Si厚度為610μm(150mm直徑片和725μm(200mm片)。
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