微光學(xué)（micro-optics）是未來(lái)微光電機(jī)系統(tǒng)（micro-optical-electrical-mechanical system，moems，也稱(chēng)微機(jī)械系統(tǒng)，micro-electrical-mechanical system）中三大（另兩大組成部分是微電子和微機(jī)械）重要組成部分之一，有時(shí)也稱(chēng)光學(xué)微機(jī)械（optical mems）。微光學(xué)元件具有體積小、重量輕、設(shè)計(jì)靈活可實(shí)現(xiàn)陣列化和易大批量復(fù)制等優(yōu)點(diǎn)已成功地應(yīng)用到現(xiàn)代光學(xué)的各個(gè)領(lǐng)域中，如校正光學(xué)系統(tǒng)的像差、改善光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量、減輕系統(tǒng)的重量。更為廣泛的應(yīng)用是激光光學(xué)領(lǐng)域，用于改變激光光束波面，實(shí)現(xiàn)光束變換，如光束的準(zhǔn)直、整形及光學(xué)交換和光學(xué)互聯(lián)等。微光學(xué)元件按照光傳播的途徑可簡(jiǎn)單地分為兩大類(lèi)：衍射光學(xué)元件（diffractive optical elements， does）和折射性光學(xué)元件（refractive optical element，roes）。衍射型微光學(xué)元件中比較常用的一種是二元光學(xué)元件（binary optical element，boes），以多臺(tái)階面形來(lái)逼近連續(xù)光學(xué)表面面形，是微光學(xué)元件中比較重要的一類(lèi)。相應(yīng)的微光學(xué)元件的設(shè)計(jì)方法有衍射方法和折射傳播的幾何光學(xué)方法，如fresnel 波帶法、g-s 算法、遺傳算法、光線(xiàn)追跡等。目前比較成熟的商業(yè)化軟件如code v，zemax， oslo 等都具備微光學(xué)元件和系統(tǒng)的優(yōu)化設(shè)計(jì)功能。 '69)m~B0a  
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    微光學(xué)元件的制作方法 !FP ]  
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