1 引言 67Tu8I/r  
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    1987 年美國(guó)科學(xué)家提出了微機(jī)電系統(tǒng)(mems)發(fā)展計(jì)劃，這標(biāo)志著人類對(duì)微機(jī)械的研究進(jìn)入到一個(gè)新的時(shí)代。目前，應(yīng)用于微機(jī)械的制造技術(shù)主要有半導(dǎo)體加工技術(shù)、微光刻電鑄模造(liga)工藝、超精密機(jī)械加工技術(shù)以及特種微加工技術(shù)等。其中，特種微加工方法是通過加工能量的直接作用，實(shí)現(xiàn)小至逐個(gè)分子或原子的去除加工。特種加工是利用電能、熱能、光能、聲能、化學(xué)能等能量形式進(jìn)行加工的，常用的方法有：電火花加工、超聲波加工、電子束加工、離子束加工、電解加工等等。近年來發(fā)展起來一種可實(shí)現(xiàn)微小加工的新方法：光成型法，包括立體光刻工藝、光掩膜層工藝等。其中利用激光進(jìn)行微加工顯示出巨大的應(yīng)用潛力和誘人的發(fā)展前景。 RJT55Rv{  
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2 常用激光微加工技術(shù) 4 #lLC-k  
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    激光微加工技術(shù)具有非接觸、有選擇性加工、熱影響區(qū)域小、高精度與高重復(fù)率、高的零件尺寸與形狀的加工柔性等優(yōu)點(diǎn)[1]。實(shí)際上，激光微加工技術(shù)最大的特點(diǎn)是“直寫”加工，簡(jiǎn)化了工藝，實(shí)現(xiàn)了微型機(jī)械的快速成型制造。此外，該方法沒有諸如腐蝕等方法帶來的環(huán)境污染問題，可謂“綠色制造”。在微機(jī)械制造中采用的激光微加工技術(shù)有兩類：1) 1T,Bd!g  
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    材料去除微加工技術(shù)，如激光直寫微加工、激光liga 等；2)材料堆積微加工技術(shù)，如激光微細(xì)立體光刻、激光輔助沉積、激光選區(qū)燒結(jié)等。 5*B'e{C  
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2.1 激光直寫技術(shù) `q\v~FT
 
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    準(zhǔn)分子激光波長(zhǎng)短、聚焦光斑直徑小、功率密度高，非常適合于微加工和半導(dǎo)體材料加工。在準(zhǔn)分子激光微加工系統(tǒng)中，大多采用掩膜投影加工，也可以不用掩膜，直接利用聚焦光斑刻蝕工件，將準(zhǔn)分子激光技術(shù)與數(shù)控技術(shù)相結(jié)合，綜合激光光束掃描與x-y 工作臺(tái)的相對(duì)運(yùn)動(dòng)以及z 方向的微進(jìn)給，可以直接在基體材料上掃描刻寫出微細(xì)圖形，或加工出三維微細(xì)結(jié)構(gòu)[2]。圖1 為準(zhǔn)分子激光加工出來的微型齒輪，最小齒輪直徑為50mm。目前采用準(zhǔn)分子激光直寫方式可加工出線寬為數(shù)微米的高深寬比微細(xì)結(jié)構(gòu)。另外，利用準(zhǔn)分子激光采取類似快速成型(rp)制造技術(shù)，采用逐層掃描的方式進(jìn)行三維微加工的研究也已取得較好結(jié)果[3]。 vKkvB;F41  
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2.2 激光liga 技術(shù) +@@(