如果要使
激光器的調(diào)制
帶寬得到提高,關(guān)鍵是降低
激光器的電學(xué)寄生因素的影響,尤其需要降低寄生電容及載流子在量子阱結(jié)構(gòu)中的輸運過程。
LM!@LQAMY 8,B#W#*{ 制造高速激光器時,要想提高器件的3db帶寬,可以采取以下措施:
M%Q_;\?] Jd33QL}Hj ①有源區(qū)采用應(yīng)變(補償)多量子阱結(jié)構(gòu)——量子阱激光器阱材料由于在平行于阱面方向受到雙軸壓應(yīng)變和垂直于阱面方向的拉伸應(yīng)變,其價帶頂?shù)闹乜昭芗壣仙,而且這種價帶發(fā)生退簡并,使電子從自旋軌道分裂帶向重孔穴帶的躍遷幾率近似等于零,使室溫下的俄歇復(fù)合幾率減小,從而導(dǎo)致這種量子阱激光器的閾值電流下降,線寬增強因子減小以及弛豫振蕩頻率、調(diào)制帶寬、微分增益系數(shù)顯著提高。
$^#q0Yx cZw_^@! ②有源區(qū)p型摻雜 ——p型摻雜可減小穿過sch區(qū)域時的空穴輸運,這對高速量子阱器件是主要的限制;p型摻雜可以得到非常高的微分增益,并且使量子阱中載流子的分布更加均勻。
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hoD4 若有源區(qū)zn摻雜濃度接近1018 cm-3時,其3db帶寬可達25ghz,而且摻雜還可使器件的振蕩頻率增加到30ghz(腔長為300μm)。此外,重摻雜還有利于降低線寬增強因子和進一步提高微分增益,這些都有利于提高器件的調(diào)制特性。
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