激光材料加工涉及范圍很廣,材料的燒結(jié)、打孔、打標、切割、焊接、表面改性和化學氣相沉積等都已把激光作為一種必不可少的能源。
eM>f#M a4B#?p 激光束可以聚焦到很小的尺寸,因而特別適合于
精密加工。我們按照加工材料的尺寸大小和加工的
精度要求,將目前的
激光加工技術分為三個層次:
)q+Qtz6D SLj2/B0 、俅笮图牧霞す饧庸ぜ夹g,以厚板(數(shù)毫米至幾十毫米)為主要對象,其
加工精度一般在毫米或者亞毫米級;
Z>O2 、诰芗す饧庸ぜ夹g,以薄板(0.1~1.0 mm)為主要加工對象,其加工精度一般在十微米級;
EYLqg`2A 、奂す馕⒓毤庸ぜ夹g,針對厚度在100μm以下的各種薄膜為主要加工對象,其加工精度一般在十微米以下甚至亞微米級。
=Nc}XFq Zn-F