在諸多光子
探測器件中占據(jù)主導(dǎo)地位的是高性能
半導(dǎo)體光電
二極管、紅外探測器與固體成象器件。
bua+I;b rnF/H=I/ (1) 半導(dǎo)體光電二極管
YxP&7oq Rb.SY{}C 屬于這類器件的主要有pin型光電二極管和雪崩型光電二極管(apd)。目前以ingaas制作的pin與apd已作為高靈敏度、高響應(yīng)度的光電探測器在
光纖通信、光纖傳感等領(lǐng)域廣泛使用,并占據(jù)了主導(dǎo)地位。近年來,pin器件的性能不斷提高,其脈沖響應(yīng)已達到ps量級。apd是一種具有增益能力的探測器,具有很高的靈敏度,因此更被看好,F(xiàn)在已對各種apd結(jié)構(gòu),如sapd、sam-apd、sagm-apd以及量子阱apd等展開了深入研究。其中sam-apd被認為是一種成功的結(jié)構(gòu)形式,sagm-apd是對sam-apd的進一步完善,并已開始實用化。量子阱apd是一種新穎結(jié)構(gòu)并具有發(fā)展前景的光電探測器,目前也已趨于實用化。
nVi[ [Nk3|u`h (2) 紅外探測器
~m$Y$,uH s