在諸多光子
探測器件中占據(jù)主導(dǎo)地位的是高性能
半導(dǎo)體光電
二極管、紅外探測器與固體成象器件。
-k + jMH 2hV -h (1) 半導(dǎo)體光電二極管
4?Y7.:x MK3h~`is 屬于這類器件的主要有pin型光電二極管和雪崩型光電二極管(apd)。目前以ingaas制作的pin與apd已作為高靈敏度、高響應(yīng)度的光電探測器在
光纖通信、光纖傳感等領(lǐng)域廣泛使用,并占據(jù)了主導(dǎo)地位。近年來,pin器件的性能不斷提高,其脈沖響應(yīng)已達到ps量級。apd是一種具有增益能力的探測器,具有很高的靈敏度,因此更被看好,F(xiàn)在已對各種apd結(jié)構(gòu),如sapd、sam-apd、sagm-apd以及量子阱apd等展開了深入研究。其中sam-apd被認為是一種成功的結(jié)構(gòu)形式,sagm-apd是對sam-apd的進一步完善,并已開始實用化。量子阱apd是一種新穎結(jié)構(gòu)并具有發(fā)展前景的光電探測器,目前也已趨于實用化。
!h1:AW_iz H!*ypJ (2) 紅外探測器
!aSj1
2J _1[Wv? 確切講,這里的紅外探測器件是指
光纖通信波段(850nm~1550nm)以外的中遠紅外探測器。它們主要應(yīng)用于紅外成象、制導(dǎo)、遙感、跟蹤以及空間通信與光電對抗等技術(shù)應(yīng)用領(lǐng)域。已研制和開發(fā)的各種紅外探測器件,其中以hgcdte為材料的單元、多元及焦平面陣列探測器件受到廣泛重視。 在3μm~ 5μm 波段,hgcdte 與 insb的焦平面陣列探測器件互為競爭對象,各有長處。在 8μm ~ 1 4μm 波段,則以hgcdte焦平面陣列探測器件為發(fā)展重點。提高陣列單元數(shù)目、探索新材料和新結(jié)構(gòu)也是發(fā)展紅外探測器件的重要任務(wù)。
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kp (3) 固體成象器件
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