我使用的是成真ZDF-III-LED真空計已經(jīng)確認正常 -P.) 0d(  
我的意思不是3.0E-0開不了高閥，而是在這個真空度開高閥真空室的真空就抽不動。 `P# h?tZ  
只有在9.0E-1左右開高閥才能繼續(xù)抽真空。

檢查一下前級閥，看是不是前級閥內漏氣，還有就是DP與前級閥前有一個環(huán)，看有沒有壞啊，我也遇到過，但是就是這個問題

DP??DP與前級閥前有一個環(huán)??可以明確一點嗎?謝謝了

我聽說過一個做真空系統(tǒng)的人講過：
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真空能不能抽到高真空，如果不能，表示漏氣，如果能抽到高真空，而時間太長，則表示不漏，而是真空泵系統(tǒng)問題。 .m+KXlP  
具體檢測方法，可以分別對各種泵的極限真空進行測試就大概知道。通常機械泵的抽速是從大氣到1000PA，前級泵是從1000PA到1PA擴散泵是從1PA到10-2PA,就可開始烘烤鍍膜后續(xù)工序。 F%< 0pi  
你要摸摸擴散泵的溫度是不是過高。雖然說冷卻水溫指示正常，如果冷卻水管與擴散泵脫開的話，擴散泵一樣冷卻不好的。 2I#fwsb  
如果不是擴散泵的問題，從你說的現(xiàn)象來看。感覺機械泵與前級泵出現(xiàn)問題的可能性比較大。機械泵要抽一個小時才到你說的那個數(shù)值，也太慢了些吧。

我以前做AR膜時，是用光馳設備。從抽到鍍再到下次抽，間隔時間總共也才一個小時哦。 IY :iGn8R  
南光機真的太慢了。

感覺是你的擴散泵的水冷系統(tǒng)出問題了

回復24樓 }CQ