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    [分享]LED外延片的成長工藝 [復制鏈接]

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    離線zz1983
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2008-08-15
    關鍵詞: LED外延片
    今天來探討LED外延片的成長工藝,早期在小積體電路時代,每一個6吋的外延片上制作數以千計的芯片,現在次微米線寬的大型VLSI,每一個8吋的外延片上也只能完成一兩百個大型芯片。外延片的制造雖動輒投資數百億,但卻是所有電子工業(yè)的基礎。 T~~$=vP9  
    ^B6i6]Pd=9  
    硅晶柱的長成,首先需要將純度相當高的硅礦放入熔爐中,并加入預先設定好的金屬物質,使產生出來的硅晶柱擁有要求的電性特質,接著需要將所有物質融化后再長成單晶的硅晶柱,以下將對所有晶柱長成制程做介紹: RnBmy^l"  
    oQjB&0k4  
    長晶主要程式: :_YG/0%I  
    1、融化(MELtDown) y[5P<:&s  
    此過程是將置放于石英坩鍋內的塊狀復晶硅加熱制高于攝氏1420度的融化溫度之上,此階段中最重要的參數為坩鍋的位置與熱量的供應,若使用較大的功率來融化復晶硅,石英坩鍋的壽命會降低,反之功率太低則融化的過程費時太久,影響整體的產能。 F+y`4>x  
    5@Lxbe( q  
    2、頸部成長(Neck Growth) \A\yuJ=  
    當硅融漿的溫度穩(wěn)定之后,將方向的晶種漸漸注入液中,接著將晶種往上拉升,并使直徑縮小到一定(約6mm),維持此直徑并拉長10-20cm,以消除晶種內的排差(dislocation),此種零排差(dislocation-free)的控制主要為將排差局限在頸部的成長。 $E_vCB _  
    lbuW*)  
    3、晶冠成長(Crown Growth) 5iI3u 7Mn1  
    長完頸部后,慢慢地降低拉速與溫度,使頸部的直徑逐漸增加到所需的大小。 {LJ6't 8y:  
    SnF[mN'  
    4、晶體成長(Body Growth) s$\8)V52  
    利用拉速與溫度變化的調整來遲維持固定的晶棒直徑,所以坩鍋必須不斷的上升來維持固定的液面高度,于是由坩鍋傳到晶棒及液面的輻射熱會逐漸增加,此輻射熱源將致使固業(yè)介面的溫度梯度逐漸變小,所以在晶棒成長階段的拉速必須逐漸地降低,以避免晶棒扭曲的現象產生。