各為先進(jìn) ;=0-B&+v  
請(qǐng)問是否有人對(duì)氣浮平臺(tái)有了解呢 m5/]+xdNX  
或是有相關(guān)氣浮平臺(tái)的資料可供分享 ZC$u8$+P  
小弟最近需要設(shè)計(jì)由線型馬達(dá)驅(qū)動(dòng)的精密氣浮平臺(tái) Ce//;Op  
不知有哪位先進(jìn)可以指導(dǎo)一下重點(diǎn) CVY-U|xFY  
如何控制平均荷重與氣孔的設(shè)計(jì)呢? Li8/GoJW-T  
;"f9"  
感激不盡  "X=^MGV  
/g0' +DP  
THANKS

好像都沒有人對(duì)氣浮平臺(tái)這方面有涉略 W-D4" G@  
如果有人知道有相關(guān)資料麻煩請(qǐng)告知我 @6[aLF]F  
謝謝

氣浮平臺(tái)在國內(nèi)用的人現(xiàn)在比較少，使用也挺麻煩的，精度高，但是不易控制

到各大公司網(wǎng)站上去看看�。� U~|)=+%O  
NEWPORT，國內(nèi)的光學(xué)儀器廠啥的。

也想看看,不知道哪位能提供

看看篇文章對(duì)你是否有用呢？

我和你一樣啊，大家有知道的麻煩告知啊，小弟這里是感激涕零了

北京華卓精密科技有限公司是一家專業(yè)從事超精密加工系統(tǒng)，超精密定位系統(tǒng)設(shè)計(jì)、制造以及相關(guān)國外產(chǎn)品代理(明立精機(jī)隔振平臺(tái))的高科技公司。 產(chǎn)品主要應(yīng)用于半導(dǎo)體光刻機(jī)、光學(xué)、掃描、原子力顯微鏡、精密分析天平、硬度計(jì)、光譜儀、圓度儀、輪廓儀、粗糙度測(cè)量?jī)x等精密數(shù)控機(jī)床儀器設(shè)備的隔振,解決高清晰顯微鏡拍照因震動(dòng)帶來的圖象不清晰等難題，為廣大院所提供高效準(zhǔn)確穩(wěn)定的測(cè)量生產(chǎn)條件. 精密隔振工作平臺(tái)是由高精度面板、隔振阻尼和高靈敏自動(dòng)提升平衡系統(tǒng)組成，它適用于精密光學(xué)測(cè)量、干涉計(jì)量、全息技術(shù)、生物工程、電生理學(xué)、光電子技術(shù)、光纖、以及光信息處理各方面的應(yīng)用與研究。:全系列防震平臺(tái)(隔振平臺(tái)):主動(dòng)型、桌面型、大負(fù)載型、精密型、經(jīng)濟(jì)型、實(shí)驗(yàn)室型; $+w