光學(xué)表面的變形包含剛體位移和表面畸變。它們將對(duì)光學(xué)系統(tǒng)的成像質(zhì)量產(chǎn)生不同的影響。通過數(shù)值方法可以求得剛 MzKl=G
體位移,但還沒有專門的可視化軟件對(duì)鏡面面形情況進(jìn)行仿真分析。提出了鏡面面形的可視化仿真方法,它利用Zernike多 P()W\+",n
項(xiàng)式與Seidel象差之問的對(duì)應(yīng)關(guān)系,對(duì)有限元數(shù)據(jù)進(jìn)行后處理,并采用PV值和RMS等數(shù)值解、表面畸變?cè)茍D及理論干涉圖 oVbs^sbRH
等形式對(duì)鏡面面形進(jìn)行模