一、
OptiLayer 模塊
Au.:OeJm /0lC KU!= OptiLayer 模塊的功能同大多數(shù)軟件差不多,不同處在于:1.能解決其它軟件不能再優(yōu)化的問題;2.運(yùn)算速度快,比同時(shí)期的同類軟件快數(shù)百倍。其具體原因可參考針式算法專題。
y-9+a7j gnLn7? 二、OptiChar模塊
+=eR%|!@ zizk7<?L. OptiChar模塊主要通過
鍍膜材料實(shí)測
光學(xué)特性
參數(shù)(某波段范圍內(nèi)的反射率和透過率曲線)給出一評(píng)估曲線,再通過在某一基底下,考察給定
薄膜理論中一些因素(厚度、折射率、消光系數(shù)和不均一性)時(shí),擬合出在當(dāng)前考察因素下,最接近鍍膜材料實(shí)測出的
光譜特性評(píng)估曲線的層材料光譜特性曲線,進(jìn)而給出此時(shí)的層材料模型(包含層材料的厚度、折射率、消光系數(shù)和不均一性)。擬合得越好則給出的層材料模型越接近當(dāng)前鍍膜條件下的實(shí)際情況。
rk|@B{CA; /L v1$~ 且在考察和不考察某一因素時(shí),如果擬合狀況無多大變化,則說明當(dāng)前考察的光學(xué)特性(反射或透過)對(duì)該因素不敏感。即該因素對(duì)當(dāng)前考察的光學(xué)特性無多大影響。因而再利用該層材料作設(shè)計(jì)且為當(dāng)前考察的光學(xué)特性時(shí),可以忽略該因素的影響而不去考慮它。
c%f_.MiU >72JV;W] 如上表即薄膜理論中最重要的一些因素:不均一性、消光系數(shù)和表面粗糙度對(duì)某一層材料實(shí)際測得的光譜特性(反射和透過)的影響程度。由上表我們可知在利用該層材料模型做設(shè)計(jì)時(shí),若設(shè)計(jì)只考慮反射時(shí),則該三因素中只需考慮不均一性;同理若設(shè)計(jì)只考慮透過時(shí),則該三因素中需考慮不均一性和消光系數(shù)。
h*w6/ZL1 jL>:>r uzBz}<M= 三、OptiRE模塊
s0C:m p[v#EyoC OptiRE這一模塊為工程反演,其主要目的為向生產(chǎn)過程提供一個(gè)回饋。
WeMAe
w/d rzeLx Wt OptiRE中采用一差異函數(shù)比較設(shè)計(jì)模型光譜特性和生產(chǎn)后薄膜實(shí)驗(yàn)測得的光譜特性, OptiRE的工程反演運(yùn)算法則是基于使該差異函數(shù)值最小。(OptiLay模塊的
優(yōu)化設(shè)計(jì)則是優(yōu)化比較理論和目標(biāo)光譜特性的評(píng)價(jià)函數(shù)值)
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