預鍍層改變光控片的組合導納,從而改變真正成膜時光量的走勢。提高判斷準確度。 divZJc
A@
設(shè)想, 要求鍍 200nm厚 SiO2,折射率 1.44。 LG@c)H74
1.44*200 = 2 *576/4, 即 用 576nm波長監(jiān)控時,走兩個極值。 !wR{Y[Yu
光控片是玻璃或石英時,光量變化幅度很小,光控很難判斷。 m5;[,He
如果用 576nm 波長將光控片預鍍HLH,H是高折射率材料。 假如H=2.2,那么此時 再鍍 SiO2時,它的透過率起伏幅度可以達到 25%。同樣走兩個極值,但容易判停了。 5N3!!FFE
在只有單一波長監(jiān)控下,還是很有用的。