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[求助]關(guān)于阻蒸過程中膜料溢出的問題 [復制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-07-09

最近在蒸發(fā)YbF3過程中，不定時的出現(xiàn)膜料從蒸發(fā)舟溢出現(xiàn)象，并因此導致零件表面出現(xiàn)材料點，使合格率下降。膜料溢出后導致膜層表面出現(xiàn)材料點的問題雖然有據(jù)可查，但為何膜料會從蒸發(fā)舟中溢出卻一直未排查出原因。