假設(shè)補(bǔ)償器的概況為:1)采用了現(xiàn)有的3坐標(biāo)測量機(jī)才控制裝調(diào)精度,預(yù)計(jì)精度1微米
0<^!<i(% V1h&{D\" 2)設(shè)計(jì)值,中心厚度如圖所示:
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8Pgw_ 21N1 lPBWpHX 補(bǔ)償器示意圖,設(shè)計(jì)值為A=20.029mm,B=166.066,C=20.030mm(其中AC材料為K9,即N-BK7,對1310nm的光折射率n=1.5197846,B為空氣)
_zuX6DO K*"Wq:T;B 這種設(shè)計(jì)之下該如何對成品補(bǔ)償器進(jìn)行測量?