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訊技光電:VirtualLab Fusion獨(dú)家供應(yīng)商	微小光學(xué)與微透鏡陣列	光學(xué)設(shè)計(jì)與光學(xué)元件	計(jì)算光學(xué)帶來的成像革命

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[論文]薄膜厚度和消光系數(shù)的透射光譜測(cè)量方法（doc文檔） [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2009-09-16

關(guān)鍵詞：薄膜消光系數(shù)光譜

薄膜厚度和消光系數(shù)的透射光譜測(cè)量方法摘要：本文提出薄膜厚度和消光系數(shù)的標(biāo)準(zhǔn)曲線測(cè)量法，論述了方法的測(cè)量原理和測(cè)量程序。該法的膜厚的測(cè)量范圍為~80nm到2000nm；膜厚的測(cè)量誤差大約為13nm。