1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm ,
<80M$a
g 2. Mirror: Wavefront error < λ /15
rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15
<ILi38%Y 請問1/10 和 1/15 在這里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不盡. Zernike Poly是波前誤差的什么多項式, 那么15指什么? 如果能簡明告知原理, 感激涕零.
M`xI N~ 我已經被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全
>"Zn#
FY 搞暈了. 似乎整個工廠都沒人懂, 不過zygo上面好像有這些數(shù)據(jù), 暈啊, 到底哪個是哪個啊.
tR_DN 請高人指點.
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