1. Mirror: Surface Accuracy 1/10 λ @ 632.8nm , 7N9~nEU  
2. Mirror: Wavefront error <  λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15 <+I^K 7   
 請(qǐng)問(wèn)1/10 和 1/15 在這里是什么意思? 如果能告知原理, 更是感激不盡. Zernike Poly是波前誤差的什么多項(xiàng)式, 那么15指什么? 如果能簡(jiǎn)明告知原理, 感激涕零.  *5?a%p  
我已經(jīng)被surface form, accuracy, figure, flatness, fringe, irregularity..... 完全 INtt0Cm9"  
搞暈了. 似乎整個(gè)工廠都沒(méi)人懂, 不過(guò)zygo上面好像有這些數(shù)據(jù), 暈啊, 到底哪個(gè)是哪個(gè)啊.  ?0 93'lA  
請(qǐng)高人指點(diǎn). mO<sw  

抱歉我不會(huì)  

沒(méi)有人會(huì)啊? 整個(gè)業(yè)界都沒(méi)有?

是不是多項(xiàng)式最后的停止計(jì)算的誤差范圍啊？

（1）1/10 λ @ 632.8nm  指平面鏡的面形精度峰谷值為十分之一波長(zhǎng)，相對(duì)He-Ne激光器的632.8nm  而言，ZYGO使用的就是這個(gè)波長(zhǎng)的光源。再說(shuō)明白點(diǎn)，相當(dāng)于平面鏡最高點(diǎn)和最低點(diǎn)距離不超過(guò)63.28nm。 9`{[J['V  
Surface Accuracy 指這片鏡子的面形精度，非要對(duì)應(yīng)的話，此處相當(dāng)于傳統(tǒng)的局部光圈ΔN=0.1 w6tb vhcmU  
（2）Wavefront error <  λ /15 rms@1.315 μm for aberration < Zernike poly 15   LL3RC6;e  
Wavefront error指標(biāo)準(zhǔn)平面波經(jīng)平面鏡反射后的波前差大小。 K0B J  
使用少于15項(xiàng)的zernike多項(xiàng)式通過(guò)擬合波前，得到波前的均方根值優(yōu)于λ /15 （λ=1.315 μm）。此處波前跟反射鏡面形是二倍關(guān)系。 k1;,eB  
使用15項(xiàng)zernike多項(xiàng)式的意思是對(duì)低頻部分而言，忽略高頻。（擬合波前時(shí)使用的zernike多項(xiàng)式項(xiàng)數(shù)越多，可代表的表面起伏數(shù)目就越多，可參考相關(guān)資料） Zur7"OkQ  
一般對(duì)平面鏡而言，使用15項(xiàng)或者更多的項(xiàng)數(shù)，面形的均方根值不會(huì)有太多變化。 T8Sgu6:*R  
G"!YV#"~  

樓上說(shuō)的很詳細(xì)了，贊！

樓主說(shuō)的很詳盡啊！

學(xué)習(xí)一下新知識(shí)

4樓已經(jīng)完美解答了