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    [分享]LED芯片的制造工藝流程 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2009-12-04
    LED芯片的制造工藝流程如下,供相關(guān)專(zhuān)業(yè)人士參考學(xué)習(xí)。 ~xJD3Qf  
    AHA*yC  
    外延片→清洗→鍍透明電極層→透明電極圖形光刻→腐蝕→去膠→平臺(tái)圖形光刻→干法刻蝕→去膠→退火→SiO2沉積→窗口圖形光刻→SiO2腐蝕→去膠→N極圖形光刻→預(yù)清洗→鍍膜→剝離→退火→P極圖形光刻→鍍膜→剝離→研磨→切割→芯片→成品測(cè)試。 ~J2Q0Jv  
    f@}(