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[求助]求救,詭異的脫膜狀況,急.... [復(fù)制鏈接]

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離線fupi1419

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2010-03-16

關(guān)鍵詞：鍍膜光譜濾光片

最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請問這種情況各位有沒有遇到過,有解決的方法嗎???

鍍膜溫度290度,鍍膜材料為TiO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無離子源助鍍.......

懇請賜教~~~

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離線shenbin

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2010-03-16

我們也有這個(gè)現(xiàn)象但是我們的溫度是380

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離線xiaoli010102

實(shí)習(xí)生

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2010-03-19

我來說下不知道對不對僅供參考在鍍制中溫度要控制好不應(yīng)過高是一點(diǎn) 看鍍制40-50層一般零件是中間厚邊緣薄，本來就有內(nèi)應(yīng)力而且還要學(xué)日本去用沸水煮況且在鍍制中越往后雖然真空度高了但膜料由于蒸發(fā)角的原因沉積會受到影響所以會變薄建議零件完工后褪下火或者用離子源輔助