[求助]求救,詭異的脫膜狀況,急.... [復(fù)制鏈接]

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2010-03-16

關(guān)鍵詞：鍍膜光譜濾光片

最近發(fā)現(xiàn)鍍制完成后的濾光片,經(jīng)過(guò)沸水煮10分鐘后,出現(xiàn)脫膜的情形,但并非膜層全部脫除,經(jīng)由光譜模擬看來(lái)應(yīng)該是只有最外層膜層變薄,請(qǐng)問(wèn)這種情況各位有沒(méi)有遇到過(guò),有解決的方法嗎???

鍍膜溫度290度,鍍膜材料為T(mén)iO2和SiO2,真空值為9.5*10^-4 Pa,所鍍層數(shù)約40~50層,最外層是SiO2,無(wú)離子源助鍍.......

懇請(qǐng)賜教~~~

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離線(xiàn)shenbin

技術(shù)員

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2010-03-16

我們也有這個(gè)現(xiàn)象但是我們的溫度是380

離線(xiàn)xiaoli010102

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只看該作者 2樓發(fā)表于: 2010-03-19

我來(lái)說(shuō)下不知道對(duì)不對(duì) 僅供參考在鍍制中溫度要控制好不應(yīng)過(guò)高是一點(diǎn) 看鍍制40-50層一般零件是中間厚邊緣薄，本來(lái)就有內(nèi)應(yīng)力而且還要學(xué)日本去用沸水煮況且在鍍制中越往后雖然真空度高了但膜料由于蒸發(fā)角的原因沉積會(huì)受到影響所以會(huì)變薄建議零件完工后褪下火或者用離子源輔助

離線(xiàn)shenbin

技術(shù)員

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只看該作者 3樓發(fā)表于: 2010-03-20

有什么退火的工藝嗎

離線(xiàn)cych1984

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只看該作者 4樓發(fā)表于: 2010-03-25

同意2樓的說(shuō)法。

離線(xiàn)ljq2007

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只看該作者 5樓發(fā)表于: 2010-05-05

最外層不要用SiO2,用Al2O3試試。

離線(xiàn)朱小朱

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只看該作者 6樓發(fā)表于: 2012-02-13

學(xué)習(xí)了謝謝

離線(xiàn)dede

助理工程師

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只看該作者 7樓發(fā)表于: 2012-02-15

學(xué)習(xí)了謝謝

離線(xiàn)dede

助理工程師

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只看該作者 8樓發(fā)表于: 2012-02-15

5樓：
AL2O3防水好點(diǎn)嗎？