非接觸式測量根據(jù)測量原理的不同，有光學(xué)測量、超聲波測量、電磁波測量、紅外測量、攝影測量等方式。 1(;_1@P  
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一、光學(xué)測量法可分為激光三角測量法、機(jī)器視覺法、莫爾輪廓法、相位測量輪廓法、掃描隧道顯微鏡( STM)法、光纖法、激光干涉法、激光掃描法等 。 .8I\=+Zi  
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1.光學(xué)三角測量法 Q^_*&},V  
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分為直射式光學(xué)三角法測量原理和斜射式光學(xué)三角法測量原理，按照測量方法可分為點(diǎn)光源入射、線光源入射和柵光源入射三種形式； C@$!'^ 61  
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2.莫爾輪廓法:是通過一塊基準(zhǔn)光柵來檢測輪廓面的影柵或像柵，并依據(jù)莫爾圖案分布規(guī)律推算出輪廓面形狀的全場測量方法。投射在三維輪廓面上的變形光柵，其光場分布函數(shù)可表示成空間相位調(diào)制信號，待測物體偏離參考平面時因影柵條紋位置變化而引起的空間相位改變量，待測物體的高度信息就包含在這一相位調(diào)制項(xiàng)中； foi@z9  
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3.相位測量輪廓法 ='p&T
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Satoru Toyooka和Tuuji Iwaasa在1986年提出了三維輪廓表面的空間相位檢測法。是用TV相機(jī)來采集物體上變形光柵圖像的灰度信息，然后由計算機(jī)按不同與FTP的規(guī)則進(jìn)行相位解調(diào)和高度計算，從而獲得需要點(diǎn)的坐標(biāo)； XLeQxp=  
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4.掃描隧道顯微鏡法 n!Dy-)!`O  
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利用量子理論中的隧道效應(yīng)，該掃描運(yùn)動系統(tǒng)的作用是產(chǎn)生探針相對于樣品的三維掃描運(yùn)動，其運(yùn)動部件的直線性、正交性運(yùn)動的重復(fù)性和穩(wěn)定性都達(dá)到了前所未有的高要求； /Mg$t6vM  
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5.光纖法 SBNeN]  
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