目標是 形成 一條 12mm 長 20um 寬的
激光線, 要求邊緣清晰度高,
球差是主要的問題,所以決定使用
非球面鏡頭,
光源用的是650nm 的laser diode 發(fā)散角是9度 NA 0.08 和30度 NA 0.25
Rs<li\GS %\5d?; 準備 用一片圓形的 NA 0.25 非球面鏡頭 來 準直
i,DnXgmz@ mBC?Pg 然后用一片 圓柱體 的 非球面鏡頭 來聚焦 , 因為有工作距離的要求, 會使用大概 NA 0.02
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當中用一片 10um 寬的 細縫來作field stop.
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