剛剛下載這本書看了下，這本書是浙大顧培夫編著的《薄膜技術(shù)》，1990年浙江大學出版社出版。
5)40/cBe 書的內(nèi)容還是很全面的，共有九章，分別為：
LP=)~K< 第一章 真空設(shè)備
/9X7A;O 第二章 制備技術(shù)
-?a 26o%e 第三章 制備工藝因素
&^nGtW%a 9 第四章 薄膜材料
/wG2vE8e 第五章 膜層厚度的均勻性
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第六章 薄膜的厚度監(jiān)控
|W^IlqTH 第七章 薄膜的結(jié)構(gòu)特性
l,).p 第八章 光學薄膜性質(zhì)及其測量
!r-F>!~ 第九章 薄膜的力學性質(zhì)及其檢測
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