剛剛下載這本書(shū)看了下,這本書(shū)是浙大顧培夫編著的《薄膜技術(shù)》,1990年浙江大學(xué)出版社出版。
Rky]F+J 書(shū)的內(nèi)容還是很全面的,共有九章,分別為:
-6NoEmb)\' 第一章 真空設(shè)備
vFntzN># 第二章 制備技術(shù)
-XV+F@`Md 第三章 制備工藝因素
id5`YA$ 第四章 薄膜材料
=|IlORf< 第五章 膜層厚度的均勻性
KHHYk>FR 第六章 薄膜的厚度監(jiān)控
`=#jWZ.8m 第七章 薄膜的結(jié)構(gòu)特性
=_|G q| 第八章 光學(xué)薄膜性質(zhì)及其測(cè)量
|%XTy7^a 第九章 薄膜的力學(xué)性質(zhì)及其檢測(cè)
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