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    [分享]光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)計劃 [復(fù)制鏈接]

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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2011-03-29
    光學(xué)鍍膜機(jī)維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。 {*GBUv5  
    一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 Y3:HQ0w`|  
    1.腔室內(nèi)部防護(hù)板 ]9w)0iH  
    周期:每月清理一次 *a CVkFp  
    先對防護(hù)板進(jìn)行更換,將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干,放入儲物柜以備下次更換。 ^"