光學(xué)鍍膜機(jī)的維護(hù)包括腔室內(nèi)部及各部件的清理、各計(jì)量部件的定期校準(zhǔn)兩部分。 Fs"i fn0  
一、真空腔室內(nèi)部及各部件的清理 9HB+4q[  
1.腔室內(nèi)部防護(hù)板 -U*J5Q  
周期：每月清理一次 $Q"D>Qf{G  
先對防護(hù)板進(jìn)行更換，將污染的防護(hù)板送去噴砂處理、然后用去離子水清洗以去除表面灰塵、N2吹干，放入儲(chǔ)物柜以備下次更換。 F42<9)I  
2.離子源清洗 +-C.E
 
周期：50~100小時(shí) @Bds0t  
A.離子源拆裝（可參照光學(xué)鍍膜機(jī)說明書） p]0`rf!|  
B.各個(gè)零件進(jìn)行噴砂，其中： ":0u%E?s  
柵網(wǎng)、石英杯噴砂壓力應(yīng)小于0.15MPa，砂子為粒度#100的Al粒子，操作距離30cm以上 }ZK%
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C超聲清洗，丙酮、酒精各一次 Bv<aB(c  
D.N2吹干，壓力在0.05-0.1MPa之間 tk]D)+{u&c  
E.烘箱烘烤，60-80℃，40-60分鐘
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3.真空計(jì)清理 ?r0rY?  
周期：六個(gè)月清理一次 Unvl~lm6  
拆除真空計(jì)各部件后用酒精擦拭即可 ?VlGTMaS+  
4.冷泵再生 @R%*;