MTF（Modulation TransferFunction） zk8 o[4  
絕對(duì)精度    2%以下（軸上、軸外）（PT基準(zhǔn)）   BIf E+
L(  
重復(fù)精度   1%以下（軸上） 3%以下（軸外）  對(duì)應(yīng)EFL   0.5…100mm             s`* 'JM<  
有限共軛長(zhǎng)  1…100mm   ]3tg|?%B  
有限最大物高  ±350mm System倍率          0.01…0.25 .Ap-<FB  
測(cè)量入射角 ±90°(INF)   ,1'9l)zP  
測(cè)量線(xiàn)對(duì)   0 …300 lp/mm     評(píng)價(jià)波長(zhǎng)   PEFilter （白色） 488, 546, 656nm（可選） ~F8M_  

)Lht}I ]:  
EFL（Effective Focal Length） Ov1$7 r@  
絕對(duì)精度   0.1% - 0.3%  （NPL基準(zhǔn)） ]>fAV(ix  
重復(fù)精度   0.05%   tx}}Kd  
測(cè)量范圍   1mm … 100mm   %4#,y(dO  
NvH9?Ek"  
有限MTF設(shè)定 wjk-$p  
●有限距離調(diào)整（半自動(dòng)）10…1000mm hzIP ?0^E  
●物高調(diào)整（自動(dòng)）±350mm  Stepping Motor（Reso. 0.2μm） 7.fpGzUM  
●像高調(diào)整（自動(dòng)）0…50mm ＊高精度LinearEncorder 50mm (Accy 0.1μm), Stepping Motor (Reso. 0.2μm) 4`lt 4L  
●對(duì)焦調(diào)整（自動(dòng)AF）100mm ;K<e]RI;?  
'N$hbl