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[分享]在反應濺射鋁的過程中的打弧問題 [復制鏈接]

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離線余登峰

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只看樓主倒序閱讀樓主發(fā)表于: 2011-11-27

在反應濺射鋁的過程中的打弧問題，看到的共享一下。

附件設置隱藏，需要回復后才能看到

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離線zmfu77

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只看該作者 1樓發(fā)表于: 2011-12-16

如果采用的是直流磁控濺射設備，應該有以下幾個原因：