掃描電磁顯微鏡ky-2800b技術性能指標:
uT:'Kkb! 分辨率:4.5nm(鎢絲陰極)
3DRJl,v 放大倍數:15倍-250,000倍
z{Z4{&M 電子光學系統(tǒng) 7yM=$"'d 電子槍:發(fā)叉式鎢絲陰極
v1h\
6r' 加速電壓:0-30kV
\!M6-kmi 透鏡系統(tǒng):電磁透鏡
Hd]o?q\ 物鏡光闌:三個光闌可在真空外選擇調節(jié)
2CcUClP$ 樣品室
9.u}<m 六個接口,可接WDS、EDS、BSE等多種附件和探測器
LH/lnrN 樣品臺
'/8{Mx+ 標準樣品臺位移:X=50mm,Y=50mm,Z=25mm
-5vg"|ia, T=-5°~+90°,R=360°
n-zAkKM 大樣品臺位稱:X=80mm,Y=50mm,Z=30 mm
M3 MB{cA2 T=0°~+90°,R=360°
q@k/"ee*? 計算機系統(tǒng):PC機,基于MicrosoftTM WindowsTMXP軟件操作系統(tǒng),全中文菜單
}huj%Pnk) 圖像顯示與觀察
*-uA\ 數字圖像,1024×768顯示方式
'KvSI=$ 17"彩色顯示器
K#Ia19au5 掃描方式:全幅、面、線、點、選區(qū)雙放大及屏幕分割
#&0G$~ 信號處理和工作方式
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cUm 交直流伽瑪調制 自動聚焦
J5dwd,FQ 低通濾波 自動消像散
kjAARW 圖象旋轉 自動亮度對比度
Z~R7 G 動態(tài)聚焦 傾斜補償
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