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    [討論]折疊式光刻物鏡 [復(fù)制鏈接]

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    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 10樓 發(fā)表于: 2012-10-01
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    ilyhairpin:貌似很復(fù)雜哎(2012-09-30 17:10)嬀/color] Dq Kk9s;6_  
    Z6X?M&-Lz  
    還好。在專(zhuān)利基礎(chǔ)上修改的。
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）
    離線(xiàn)deaneliu
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    只看該作者 11樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的
    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 12樓 發(fā)表于: 2012-10-03
    回 deaneliu 的帖子
    deaneliu:請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] YBN@{P$  
    )d bi  
    zemax oslo codev都可以的。
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）
    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 13樓 發(fā)表于: 2012-10-03
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    deaneliu:請(qǐng)問(wèn)LZ，這是用什么軟件做模擬的(2012-10-03 14:46)嬀/color] EYtf>D  
    l)m\i_r:  
    成像軟件都可以。
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）
    離線(xiàn)hoxomo
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    只看該作者 14樓 發(fā)表于: 2012-11-22
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    phoenixzqy:專(zhuān)利未修改之前，NA不到0.1；
    圖中這個(gè)系統(tǒng)的設(shè)計(jì)要求是0.03~0.04.。 (2012-09-28 20:46)  i1k(3:ay<  
    F4'g}y OLd  
    NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。
    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 15樓 發(fā)表于: 2012-11-22
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    hoxomo:NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] %gj's-!!  
    BDoL)}bRE  
    這個(gè)系統(tǒng)分辨率很高，不要只按na計(jì)算。你可以在zemax里模擬一下。
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）
    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 16樓 發(fā)表于: 2012-11-22
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    hoxomo:NA有點(diǎn)小啊，分辨率不高啊。(2012-11-22 16:40)嬀/color] B ;Zsp  
    ^bpxhf x  
    mtf@500仍大于0.35
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）
    離線(xiàn)hoxomo
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    只看該作者 17樓 發(fā)表于: 2012-11-30
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    phoenixzqy:mtf@500仍大于0.35 (2012-11-22 20:40)  ~]?Q'ER  
    ~$w-I\Q!  
    那挺不錯(cuò)的
    離線(xiàn)ekisyou
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    只看該作者 18樓 發(fā)表于: 2012-12-08
    封裝上面用的嗎
    離線(xiàn)phoenixzqy
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    只看該作者 19樓 發(fā)表于: 2012-12-24
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    ekisyou:封裝上面用的嗎(2012-12-08 22:11)嬀/color] O\pqZ`E=s  
    nCh9IF[BL/  
    投影光刻上用的。紫外光刻。
    2024年6月28-30日于上海組織線(xiàn)下成像光學(xué)設(shè)計(jì)培訓(xùn)，歡迎報(bào)名參加。請(qǐng)關(guān)注子在川上光學(xué)公眾號(hào)。詳細(xì)內(nèi)容請(qǐng)咨詢(xún)13661915143（同微信號(hào)）