摘 要:表面粗糙度對工件的性能有很大的影響,由于機械、電子及光學工業(yè)的飛速發(fā)展,對精密機械加工表面的質(zhì)量及結(jié)構(gòu)小型化的要求日益提高,使得表面粗糙度測量顯現(xiàn)出越來越重要的地位。采用光學方法測量表面粗糙度具有非接觸、無損傷、測量精度高等優(yōu)點。介紹了用光散射法、像散法、散斑法、光干涉法、光學觸針法測量表面粗糙度的原理及研究進展,討論了上述方法各自的優(yōu)缺點,對表面粗糙度測量的發(fā)展方向進行了預(yù)測。 _K}_h\e.
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關(guān)鍵詞:表面粗糙度測量;光學測量;非接觸測量