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    [求助]光馳機 只有晶控 請各位大俠幫忙解決個問題! [復(fù)制鏈接]

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    離線ken_jinyan1
     
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    只看樓主 倒序閱讀 樓主  發(fā)表于: 2012-11-12
    關(guān)鍵詞: 光馳機晶控電子槍
    我公司新買臺 光馳 GENER1300真空鍍膜機,只有晶控沒有配光控。問下各位這種配置最多能穩(wěn)定鍍多少層膜。 :P%?!'M  
    P\{s C6E  
    現(xiàn)在有個問題請教一下,電子擋板打開后,成膜速度過快,速度沖到設(shè)定值的140%,然后慢慢下降,經(jīng)過30秒左右后能穩(wěn)定在設(shè)定值左右。我懷疑是成膜速率的PID設(shè)定有問題,具體數(shù)為:  請各位幫忙分析下 s?k:X ~m  
    ?8< =.,r