1、金屬膜的制作.(銀、鉻、鋁、金等金屬膜)
Sl1N V 2、標(biāo)準(zhǔn)鉻版的制作和特殊鉻版的制作。
`{%*DHa 主要包括:2.0/2.5/3.0/4.0/5.0 英寸鉻版的制作.
iBCM?RiG 3、光刻模版的設(shè)計與制作。
<[Vr(.A 最小線寬能達(dá)到1微米。精度在正負(fù)0。2微米左右。
8}&cE#@ 4、復(fù)制。
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根據(jù)客戶需求復(fù)制不同的圖案。如:分劃版、光柵版、
v|e>zm< 碼盤以及其他特殊圖案的復(fù)制。最細(xì)線寬2微米。周期4微米。
Y+E@afsKs 5、腐蝕。
_v\QuI6 我們能夠?qū)9玻璃、石英、硅等材料上制作不同圖案的