luffy17520:大機器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 LU+SuVm  
大機器還有離子源修正板，這個比較簡單。 fP5i
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小機器為左右擋板，試驗原理也是單腔 3)ox8,{%}  
波長長了就修掉一點，讓ibs多多轟擊即可 ?jUgDwc(w  
....... (2013-11-21 15:53)  VFx[{Hy