luffy17520:大機(jī)器有2中修正板，一種是基板左右的，每次做單腔來(lái)調(diào)整，還有就是基板擋板換成修正板，同理。 @oA0{&G{  
大機(jī)器還有離子源修正板，這個(gè)比較簡(jiǎn)單。 5d(qtFH1  
小機(jī)器為左右擋板，試驗(yàn)原理也是單腔 1zR/HT  
波長(zhǎng)長(zhǎng)了就修掉一點(diǎn)，讓ibs多多轟擊即可 ktWZBQY  
....... (2013-11-21 15:53)  Bf+^O)Ns^