在蒸鍍過程中材料的折射率怎樣能夠準確算出,我知道折射率跟真空度.沉積速率.充氧量有關,其它的還有嗎?那如何計算,如TiO2.SiO2.Os50.SiO.ZrO2等,請各位大俠指教.謝謝!!!

蒸度鍍過程中適時手動計算材料的折射率比較困難啊，個人認為必須測準適時的膜層厚度和反（透）射率，或者是在極值點處的反（透）射率，再利用公式進行計算，但感覺不怎么實用。現(xiàn)在的鍍膜設備，已經(jīng)可以自動計算并顯示出適時的折射率了。 oyB gF\  
  折射率還和基片溫度，沉積角度，膜層的微觀結(jié)構有關。 u6nO\.TTtY  
  折射率測量一個是用橢偏儀直接測量，一個是用分光光度計測單層膜在奇數(shù)個極值厚度處的反（透）射率，再用公式計算的間接測量。

能詳細說下單層膜在奇數(shù)個極值厚度處透射率用公式計算的間接測量的過程么？？

就是就是,知道的,與大家分享一下啊

鍍個較厚一點的單層膜，根據(jù)極值點（膜比基底折射率高的看極小值，膜比基底折射率低的看極大值，并且選取長波段的極值點，因為在長波段折射率色散小）估算出膜層的折射率，該點的反射率，根據(jù)薄膜光學原理，相當于單個四分之一光學厚度的膜厚（單層四分之一光學厚度的薄膜等效折射率為n^2/ng,n為膜的折射率，ng為基底折射率)的反射率。算出折射率后，再判斷極值級次，根據(jù)這個級次就可算出膜厚�，F(xiàn)在舉一例子加深理解。 c/F
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此主題相關圖片如下： +OqEe[Wk#  
無法傳圖，大家可用TFC設計一個 Glass/6.451H/air的曲線對照著看，H的折射率為1.91，入射和出射介質(zhì)均為air，主要為理解下面的分析用。 @DIEENiM  
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圖中基底折射率為1.52，該曲線的透過率極大值是空白玻璃的透過率，說明鍍的膜沒有起增透作用，判斷膜的折射率應該大于基底的折射率，所以我們要選極小值點的反射率來分析薄膜的折射率（選極大值等于在分析空白玻璃，因為是偶數(shù)個四分之一膜厚，等同虛設層），為選色散小的區(qū)域，可以找到最長波段的極小值為1184nm，透過率為80.08%。設空白基底的單面透過率為T1，鍍有膜層側(cè)的單面透過率為T2，總和透過率，也就是所測透過率為T，則有關系式1/T=1/T1 + 1/T2 - 1(大家可以自己推算，就是簡單的等比數(shù)列疊加，可先算出R1，R2和R的關系式　R＝(R1＋R2－2R1R2)/(1-R1R2),然后用1-Rx代替Tx），在這兒T1=95.742%, T=80.08%, T2為未知數(shù)，代入后得出T2＝83.037%，于是R2＝1－T2＝16.963%，R2＝(n^2/ng-1)^2 / (n^2/ng +1)^2 ，n=sqrt(ng*(1+sqrt(R2))/(1-sqrt(R2) )=1.910，這就是膜層的折射率 G^N@r:RS  
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