jiangguang:你確定維護(hù)好了嗎？廠家的人沒準(zhǔn)沒你水平高。自己去測量下每次的真空度時(shí)間吧，基本圖形變來變?nèi)ゾ褪钦婵詹环�(wěn)定，引起真空不穩(wěn)定的因素：漏氣，電壓不穩(wěn)，擴(kuò)散泵有水氣，可以從這兩個(gè)方面研究。 pr@8PD2%  
 (2013-12-17 09:24)  ^Q2K0'm5  

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你好，謝謝你的耐心解答。 ~A>3k2N/e  
我們的機(jī)臺(tái)可以做多做產(chǎn)品，有些是很穩(wěn)定，有些以前可以，過一段時(shí)間不做就行了，調(diào)好了過幾天不做也這樣，估計(jì)還是條件的問題來的。 Vu;tU.  
就是不知道你們調(diào)條件的時(shí)候除了膜厚和起始?xì)鈮�，蒸發(fā)源功率外還會(huì)修改哪些東西呢？ (O/hu3
 
我才學(xué)鍍膜一年，水平有限，謝謝你哈

沒啥 每次鍍的時(shí)候 保證條件一致就行了 另外可能膜系也有問題 不要太敏感的膜系 如果膜系太敏感 也會(huì)出現(xiàn)不穩(wěn)定 畢竟機(jī)器還打不到你想要怎么樣就怎么樣 還是有一定誤差的

不懂   太高深了

你好，新年快樂! 5A:b \  
請(qǐng)教一下，我們的晶控儀有時(shí)候會(huì)出現(xiàn)有光控曲線但沒有速率和膜厚的現(xiàn)象，無報(bào)警，每個(gè)月都會(huì)發(fā)生一兩次，這是什么情況呢?而且昨天又發(fā)生了怪事，設(shè)定130的膜厚，顯示鍍了180，這個(gè)有可能嗎？動(dòng)作確認(rèn)無問題