一﹑晶振片的種類
kE8>dmH23 do*}syQ`O 晶振片的電極對(duì)膜厚監(jiān)控至關(guān)重要，目前，市場(chǎng)上提供三種
標(biāo)準(zhǔn)電極
材料：金、銀和合金。 金是最廣泛使用的傳統(tǒng)材料，它具有低接觸電阻，高化學(xué)溫定性，易于沉積。金最適合于低應(yīng)力材料，如金，銀，銅的膜厚控制。用鍍金晶振片監(jiān)控以上產(chǎn)品，即使頻率飄移1MHz，也沒(méi)有負(fù)作用。然而，金電極不易彎曲，會(huì)將應(yīng)力從膜層轉(zhuǎn)移到石英基片上。轉(zhuǎn)移的壓力會(huì)使晶振片跳頻和嚴(yán)重影響質(zhì)量和穩(wěn)定性。
2kAx>R YJg,B\z} 銀是接近完美的電極材料，有非常低的接觸電阻和優(yōu)良的塑變性。然而，銀容易硫化，硫化后的銀接觸電阻高，降低晶振片上膜層的牢固性。
}8|[;Qa`y E! BPE> 銀鋁合金晶振片最近推出一種新型電極材料，適合高應(yīng)力膜料的
鍍膜監(jiān)控，如Si0，Si02， MgF2，Ti02。這些高應(yīng)力膜層，由于高張力或堆積的引力，經(jīng)常會(huì)使晶振片有不穩(wěn)定，高應(yīng)力會(huì)使基片變形而導(dǎo)致跳頻。 銀鋁合金通過(guò)塑變或流變分散應(yīng)力，在張力或應(yīng)力使基體變形前，銀鋁電極已經(jīng)釋放了這些應(yīng)力。這使銀鋁合金晶振片具有更長(zhǎng)時(shí)間，更穩(wěn)定的振動(dòng)。實(shí)驗(yàn)室的實(shí)驗(yàn)表明鍍Si02用 銀鋁合金晶振片比鍍金壽命長(zhǎng)400%。
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\Bk 晶振片的電極根據(jù)其外觀形狀分為單錨﹑雙錨﹑全雙錨，目前使用較多的為雙錨電極晶振片。
hz;|NW{u XC 7?VE 二﹑如何選用最合適的晶振片？
b`yZ|j'ikd ]<(]u#g_d 鍍膜科技日新月異，對(duì)于鍍膜工程師來(lái)說(shuō)，如何根據(jù)不同的鍍膜
工藝選擇最佳的晶振片確實(shí)不易。下面建議供大家參考：
?Xdak|? i BqDKT 1）鍍低應(yīng)力膜料時(shí)，選擇鍍金晶振片 最常見(jiàn)的鍍膜是鍍Al、Au、Ag、Cu，這些膜層幾乎沒(méi)有應(yīng)力，在室溫下鍍膜即可。膜層較軟，易劃傷，但不會(huì)裂開或?qū)桩a(chǎn)生負(fù)作用。建議使用鍍金晶振片用于上述鍍膜，經(jīng)驗(yàn)證明，可以在鍍金晶振片鍍60000埃金和50000埃銀的厚度。
9a\nszwa Xs&TJ8a 2）使用鍍銀或銀鋁合金鍍高應(yīng)力膜層 Ni、Cr、Mo、Zr、Ni-Cr、Ti、不銹鋼這些材料容易產(chǎn)生高應(yīng)力，膜層容易從
晶體基片上剝落或裂開，以致出現(xiàn)速率的突然跳躍或一系列速率的突然不規(guī)則正負(fù)變動(dòng)。有時(shí)，這些情況可以容忍，但在一些情況下，會(huì)對(duì)蒸發(fā)源的
功率控制有不良作用。
MV_Srz D|Iur W1f 3）使用銀鋁合金晶振片鍍介質(zhì)
光學(xué)膜 MgF2、SiO2、Al2O3、TiO2膜料由于良好的光學(xué)透明區(qū)域或折射率特性，被廣泛用于光學(xué)鍍膜，但這些膜料也是最難監(jiān)控的，只有基底溫度大于200度時(shí)，這些膜層才會(huì)與基底有非常良好的結(jié)合力，所以當(dāng)這些膜料鍍?cè)谒涞幕拙д衿�，在膜層凝結(jié)過(guò)程會(huì)產(chǎn)生巨大的應(yīng)力，容易使晶振片在1000埃以內(nèi)就回失效。 這時(shí)候，選用合金晶振片將是最好的選擇，將大大減少調(diào)頻機(jī)會(huì)。實(shí)驗(yàn)室顯示，使用合金晶振片監(jiān)視氟化鎂，有效壽命比鍍金的長(zhǎng)100%。如果把冷卻水的溫度從20度提高到50 度，晶振片的壽命更可以再延長(zhǎng)一倍。
{oc igR 0 73{'k K 三﹑晶振片的安裝及注意事項(xiàng)與技巧
[b{CkX06 5D M"0 隨著鍍膜規(guī)格指標(biāo)的需求日益嚴(yán)格，單靠光控已經(jīng)難以達(dá)到要求，晶振控制成為鍍膜必備的輔助或控制方法﹐如何正確有效地使用晶振片成為保證鍍膜質(zhì)量的重點(diǎn)。所以為了使晶振片壽命最長(zhǎng)，下面一些方法和技巧供您參考：
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